2014-06-18Echipament PECVD si/sau Sistem de depuneri in ultravid cu caracterizare integrata (I.N.C.D. pentru Microtehnologie)
Lot 1. Echipament PECVD:
Echipament pentru Depunere Chimica din Faza de Vapori Asistata de Plasma pentru realizarea materialelor pe baza de carbon. Echipamentul trebuie sa fie configurat in principal pentru procese de depunere/crestere pentru urmatoarele materiale: grafena, diamant nanocristalin (NCD), carbura de siliciu (SiC) si nanotuburi de carbon (CNT).
Lot 2. Sistem de depuneri in ultravid cu caracterizare integrata:
Sistem format din 3 module (echipamente) care sa indeplineasca urmatoarele functii: …
Vizualizați achizițiile publice » Furnizori menționați:Oxford Instruments GmbH