Pachet fotolitografie

Scurtă descriere

“Pachetul de fotolitografie” este un ansamblu de sisteme constând dintr-un mask aligner și un sistem de nanoimprimare pentru realizarea de structuri simple/complexe de dimensiuni micronice până la dimensiuni nanometrice pe substraturi diferite folosind radiația UV.

Descrierea achiziției publice

“Pachet fotolitografie” – 1 buc.
Pachetul de fotolitografie trebuie să permită în mod eficient și reproductibil (în configurația minimă solicitată) atât (1) realizarea de microstructuri prin fotolitografie clasică (convențională) cât și (2) realizarea de nanostructuri prin nanoimprimare care pot fi utilizate in aplicațiile de ultimă generație din domenii precum: micro- și nanoelectronicii, optoelectronicii, fotonicii, medical, etc.
Pachetul poate fi compact sau poate fi modular, cu condiția să îndeplinească următoarele cerințe:
(a) Pentru procesul de fotolitografiere convențională, capabilitate de realizare de microstructuri, atât pe substraturi rigide cât și pe substraturi flexibile de grosimi diferite utilizând diferite grosimi de fotorezist, cu o rezoluție de minim 4 μm și o precizie la aliniere de minim 1 µm;
(b) Pentru procesul de nanoimprimare, capabilitate de realizare de nanostructuri având o rezoluție între 50 nm și 100 nm, pe substraturi rigide și flexibile de grosimi diferite utilizând diferite grosimi de fotorezist;
Pachetul de fotolitografie trebuie să fie prevăzut cu:
(i) software de comandă și control pentru definirea proceselor de iradiere dorite;
(ii) sistem de aliniere, vital, pentru ambele tipuri de procese (fotolitografie și nanoimprimare);
(iii) sistemul de iradiere bazat pe lampă de tip: LED cu radiație în domeniul UV ( lungimi de undă cuprinse în domeniul 300 nm - 450 nm).
(iv) plită pentru tratament termic de până la 250°C .
(v) facilitate/aparat (coater) care să permită acoperirea uniformă cu fotorezist a substraturilor cu diametrul de minim 150 mm.

Informații suplimentare

Program: Creștere Inteligentă, Digitalizare și Instrumente Financiare 2021-2027
Titlul proiectului: „PLATFORMA NAȚIONALĂ PENTRU TEHNOLOGIILE SEMICONDUCTORILOR (PNTS)”
Cod SMIS: 304244; Contract numarul: G 2024-85828/390008/27.11.2024

Lista și o scurtă descriere a normelor și criteriilor

Informatii si formalitati necesare pentru evaluarea respectarii cerintelor mentionate:
Operatorii economici ce depun oferta trebuie sa dovedeasca o forma de înregistrare în conditiile legii din tara de rezidenta, sa reiasa ca operatorul economic este legal constituit, ca nu se afla în niciuna dintre situatiile de anulare a constituirii precum si faptul ca are capacitatea profesionala de a realiza activitatile care fac obiectul contractului.
Modalitatea de indeplinire a cerintei: se va completa DUAE de catre operatorii economici participanti la procedura de atribuire (ofertant/ofertant asociat/ subcontractant) cu informatiile aferente situatiei lor.
Documentele justificative care probeaza indeplinirea celor asumate prin completarea DUAE urmeaza a fi prezentate, la solicitarea autoritatii contractante, doar de catre ofertantul clasat pe locul I in clasamentul intermediar intocmit la finalizarea evaluarii ofertelor.
Aceste documente justificative pot fi:
- certificat constatator emis de ONRC, sau
- in cazul ofertantilor straini, documente echivalente emise in tara de rezidenta.
Documentele constatatoare trebuie sa ateste ca obiectul contractului are corespondenta in activitatea ofertantului/ofertantului asociat/subcontractantului, pentru partea din contract pe care o realizeaza .
Alte informatii minimale ce trebuie sa se regaseasca in documentul constatator sunt:
- date de identificare legale (denumire, sediu, cod unic de inregistrare);
- activitatile principale si secundare;
- reprezentantii legali.
Documentele emise in alta limba decat limba romana vor fi insotite de traduceri autorizate in limba romana.
Documentele solicitate vor fi semnate cu semnătură electronică extinsă, bazată pe un certificat calificat, eliberat de un furnizor de servicii de certificare acreditat în condiţiile legii şi încărcate în SEAP în secţiunile specifice disponibile în sistemul informatic şi numai de către operatorii economici înregistraţi.

Lista și o scurtă descriere a normelor și criteriilor

Lista principalelor livrari de produse efectuate in ultimii 5 ani (calculati pana la data limita de depunere a ofertelor) din care sa rezulte ca a furnizat, instalat si pus in functiune cel putin un echipament de cercetare de laborator. Îndeplinirea acestui criteriu urmeaza a fi demonstrata prin prezentarea unuia sau mai multor contracte, insotita de certificate/documente emise sau contrasemnate de catre o autoritate sau de catre clientul beneficiar.
În vederea asigurării unui nivel corespunzător de concurenţă, autoritatea contractantă a stabilit ca pot fi luate in considerare livrările de produse similare efectuate cu mai mult de 3 ani în urmă, intrucat la nivelul pieţei de profil relevante se înregistrează o cerere mică pentru asemenea produse şi/sau aceasta apare la intervale mari de timp datorită nivelului ridicat de tehnologizare şi/sau specializare precum si faptului că acestea se încadrează într-un segment de nişă sau au un ciclu lung de fabricaţie.

În conformitate cu prevederile Instructiunii ANAP nr. 2/2017, art. 13 alin. (1) lit. b) și alin. (2), în cazul decalării termenului limită de depunere a ofertelor prevăzut inițial în anunțul de participare, se va proceda de catre autoritatea contractanta la publicarea în acest sens a unei erate, astfel ca limita inferioară a perioadei de 5 ani se va extinde cu perioada de timp aferentă decalării.

Prin echipament de cercetare de laborator se intelege un echipament/instalatie care să permită/asigure, în mod eficient și reproductibil, atât realizarea de microstructuri prin fotolitografie clasică (convențională) cât și realizarea de nanostructuri prin nanoimprimare care pot fi utilizate in aplicațiile de ultimă generație din domenii precum: micro- și nanoelectronicii, optoelectronicii, fotonicii, medical, etc.

Modalitatea de îndeplinire: se va completa DUAE de catre operatorii economici participanti la procedura de atribuire (ofertant/ofertant asociat/tert sustinator) cu informaţii relevante care sa demonstreze realizarea plafoanelor cantitative impuse.
La nivelul DUAE se vor preciza de către ofertanţi/ofertanti asociati/terți susținători urmatoarele informaţii:descriere- numărul şi data contractului invocat drept experienţă similară precum si denumirea acestuia, valoarea contractului fara TVA, data de începere și data de incheiere, beneficiarul acestuia şi datele sale de contact.
Documentele justificative care probeaza indeplinirea celor asumate prin completarea DUAE urmeaza a fi prezentate, la solicitarea autoritatii contractante, doar de catre ofertantul clasat pe locul I in clasamentul intermediar intocmit la finalizarea evaluarii ofertelor.
Aceste documente justificative pot fi: document constatator /documente privind modul de indeplinire a obligatiilor contractuale emis de beneficiar/documente de receptie/documente de acceptanta finala a produselor si alte documente/certificate emise sau contrasemnate de o autoritate sau de catre clientul beneficiar final prin care se confirma livrarea-instalarea-punerea in functiune a produselor cu indicarea tipului si modelului de produs care a facut obiectul certificarii.
Se vor lua in calcul contractele executate in calitate de contractant unic sau contractant asociat.
In cazul in care activitatile prezentate ca experienta similara au fost realizate in cadrul unei asocieri, ofertantul va prezenta o copie a acordului de asociere sau alte documente relevante din care sa reiasa partea executata din respectivul contract.
Documentele solicitate vor fi semnate cu semnătură electronică extinsă, bazată pe un certificat calificat, eliberat de un furnizor de servicii de certificare acreditat în condițiile legii și încărcate în SEAP, în secțiunile specifice disponibile în sistemul informatic.

Lista și o scurtă descriere a normelor și criteriilor

Operatorii economici ce depun ofertă trebuie să dovedească o formă de înregistrare în condițiile legii din țara de rezidență, să reiasă că operatorul economic este legal constituit, că nu se află în niciuna dintre situațiile de anulare a constituirii precum și faptul că are capacitatea profesională de a realiza activitățile care fac obiectul contractului.

Modalitatea de indeplinire a cerintei: se va completa DUAE de catre operatorii economici participanti la procedura de atribuire (ofertant/ofertant asociat/ subcontractant) cu informatiile aferente situatiei lor.
Documentele justificative care probeaza indeplinirea celor asumate prin completarea DUAE urmeaza a fi prezentate, la solicitarea autoritatii contractante, doar de catre ofertantul clasat pe locul I in clasamentul intermediar intocmit la finalizarea evaluarii ofertelor.
Aceste documente justificative pot fi:
- certificat constatator emis de ONRC, sau in cazul ofertantilor straini, documente echivalente emise in tara de rezidenta.
Documentele constatatoare trebuie sa ateste ca obiectul contractului are corespondenta in activitatea ofertantului/ ofertantului asociat/ subcontractantului, pentru partea din contract pe care o realizeaza.
Alte informatii minimale ce trebuie sa se regaseasca in documentul constatator sunt:
- date de identificare legale (denumire, sediu, cod unic de inregistrare);
- activitatile principale si secundare;
- reprezentantii legali.
Documentele se vor prezenta, in limba in care au fost emise, si vor fi insotite de traduceri autorizate in limba romana daca au fost emise in alta limba decat cea romana.
Informațiile cuprinse în certificatul constatator sau în documentul echivalent trebuie să fie reale/actuale la momentul prezentării acestuia.
În cazul asocierii mai multor persoane juridice, cerintele referitoare la capacitatea de exercitare a activității profesionale trebuie să fie îndeplinite de fiecare asociat în parte pentru partea din contract pe care o realizează.

Principalele condiții de finanțare și modalități de plată și/sau trimitere la dispozițiile relevante care le reglementează

Plata către furnizor se face prin OP, în termen de 30 zile de la primirea facturii. Acest contract fiind finanțat din fonduri europene prin proiectul „PLATFORMA NAȚIONALĂ PENTRU TEHNOLOGIILE SEMICONDUCTORILOR (PNTS)”, executarea acestuia poate fi suspendată, prin notificare, pe perioadă determinată, de către MINISTERUL INVESTIȚIILOR ȘI PROIECTELOR EUROPENE. Executarea contractului se va relua după încetarea motivului suspendării. Plata aferentă contractului se va realiza de către autoritatea contractantă prin mecanismul cererilor de plată, în conformitate cu prevederile contractului de finanțare și ale legislației aplicabile privind implementarea proiectelor cu finanțare din fonduri europene. Furnizorul nu are dreptul să pretindă despăgubiri/penalități/daune interese în cazul suspendării executării contractului. Text integral in sect. VI.3 Informatii suplimentare.

Cerintele tehnice definite la nivelul anuntului de participare, caietului de sarcini sau altor documente complementare, prin trimiterea standardelor, la un anumit producator, la marci, brevete, tipuri, la o origine sau la o productie/metoda specifica de fabricatie/prestare/executie, vor fi intelese ca fiind insotite de mentiunea ”sau echivalent”.
Numar zile pana la care se pot solicita clarificari inainte de data limita de depunere a ofertelor: 18 zile inainte de data limita pentru depunerea ofertelor.
Termenul limita pana la care autoritatea contractanta va raspunde clar si complet solicitarilor de clarificari/informatii suplimentare: 10 zile inainte de termenul limita de depunere a ofertelor stabilit prin anuntul de participare.
In situatia in care ofertantul declarat castigator va fi de alta nationalitate decat cea romana, modelul de contract de furnizare utilizat in prezenta procedura va fi tradus de autoritatea contractanta prin intermediul unui traducator autorizat, la solicitarea ofertantului, urmand a se incheia un contract cu continut bilingv romana-engleza.
Perioada minima pe parcursul careia ofertantul trebuie sa isi mentina oferta este de 17 luni (510 zile) de la termenul limita de primire a ofertelor.
Dacă două sau mai multe oferte primesc același punctaj PO, atunci va fi declarată câștigătoare oferta cu cel mai mare punctaj obținut pentru parametrul tehnic suplimentar PT2 („Aparat care să permită acoperirea uniformă cu fotoresist a substraturilor cu diametrul de minim 150 mm”), și dacă și acestea sunt egale va fi declarată câștigătoare oferta cu cel mai mare punctaj obținut pentru parametrul tehnic PT1 („Plită pentru tratament termic care să permită tratarea uniformă a substraturilor cu diametrul de minim 150 mm”).
Dacă două sau mai multe oferte obțin atât un punctaj total PO, cât și punctaje PT2 și PT1 egale, atunci va fi declarată câștigătoare oferta cu cel mai mare punctaj obținut la caracteristica tehnică suplimentară PT11 („Capacitatea Pachetului de fotolitografie de a atinge rezoluții de 0,5 μm în modul de expunere vacuum contact”). Dacă, și în acest caz, vor fi două sau mai mult oferte care obțin un punctaj egal, o nouă ofertă de preț va fi solicitată de la ofertanții respectivi și va fi declarată câștigătoare oferta cu cel mai mic preț reofertat.


Garantie de participare (continuare de la sectiunea III.1.6.a)):
[...]
In cazul depunerii de oferte in asociere, GP trebuie constituita in numele asocierii si sa mentioneze ca acopera in mod solidar toti membrii grupului de operatori ec.
GP trebuie sa fie irevocabila si neconditionata.
3) Mod de prezentare: Instrumentul de garantare sau ordinul de virament se transmite în SEAP împreună cu oferta şi celelalte documente ale acesteia, cel mai târziu la data şi ora-limită de depunere a ofertelor, şi trebuie să prevadă că plata garanţiei de participare se va executa necondiţionat, respectiv la prima cerere a beneficiarului, pe baza declaraţiei acestuia cu privire la culpa persoanei garantate.
Garantia de participare emisa in alta limba decat limba romana va fi insotita de traducerea autorizata in limba romana.
4) Perioada de valabilitate a garantiei de participare: 17 luni (510 zile) de la data limita pentru depunerea ofertelor (Perioada de valabilitate a garantiei de participare este cel putin egala cu perioada de valabilitate a ofertei).
5) Restituirea garantiei de participare: in conformitate cu art. 154 si art. 1541 din Legea 98/2016 cu modificarile si completarile ulterioare.
6) Retinerea garantiei de participare: in conformitate cu art. 37, alin. a), b), c), din H.G. nr. 395/2016 cu modificarile si completarile ulterioare:
„(1) Autoritatea contractantă are obligaţia de a reţine garanţia de participare atunci când ofertantul se află în oricare dintre următoarele situaţii:
a) îşi retrage oferta în perioada de valabilitate a acesteia;
b) oferta sa fiind stabilită câştigătoare, nu constituie garanţia de bună execuţie;
b1)[...];
c) oferta sa fiind stabilită câştigătoare, refuză să semneze contractul de achiziţie publică/acordul-cadru în perioada de valabilitate a ofertei.”

Garantie de buna executie (continuare de la sectiunea III.1.6.b)):
[...]
În cazul depunerii de oferte în asociere, GBE trebuie constituita în numele asocierii si sa mentioneze ca acopera în mod solidar toti membrii grupului de operatori ec.
GBE trebuie sa fie irevocabila si neconditionata.
3) Mod de prezentare: in conformitate cu prevederile art. 154 din Legea 98/2016 cu modificarile si completarile ulterioare.
4) Restituirea garantiei de buna executie: in conformitate cu prevederile art. 154 din Legea 98/2016 cu modificarile si completarile ulterioare.
5) Retinerea garantiei de buna executie: in conformitate cu prevederile art.41 din H.G. nr. 395/2016 cu modificarile si completarile ulterioare.


Principalele condiții de finanțare și modalități de plată și/sau trimitere la dispozițiile relevante care le reglementează (Text integral sectiunea III.1.7):
Achizitorul efectueaza plata către furnizor , prin ordin de plată, în termen de 30 zile calendaristice de la primirea facturii emisa in baza procesului verbal de receptie si procesului verbal de instalare, punere in functiune si instruire personal încheiate fără obiecțiuni.
Acest contract este finanțat din fonduri europene prin proiectul „PLATFORMA NAȚIONALĂ PENTRU TEHNOLOGIILE SEMICONDUCTORILOR (PNTS)”, executarea contractului poate fi suspendată, prin notificare, pe perioadă determinată, de către MINISTERUL INVESTIȚIILOR ȘI PROIECTELOR EUROPENE.
Suspendarea va fi comunicată de către beneficiar, prin notificare scrisă, în termen de 24 de ore de la primirea înștiințării de la MINISTERUL INVESTIȚIILOR ȘI PROIECTELOR EUROPENE. Executarea contractului se va relua după încetarea motivului suspendării.Reluarea executării contractului va fi comunicată de către beneficiar, prin notificare scrisă, în termen de 24 de ore de la primirea înștiințării.
Plata aferentă contractului se va realiza de către autoritatea contractantă prin mecanismul cererilor de plată, în conformitate cu prevederile contractului de finanțare și ale legislației aplicabile privind implementarea proiectelor cu finanțare din fonduri europene.
Furnizorul nu are dreptul să pretindă despăgubiri/penalități/daune interese în cazul suspendării executării contractului în situațiile mai sus menționate.