Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching)

Scurtă descriere

Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching) cu plasmă cuplată inductiv, numit în continuare Sistem de gravură ICP-RIE, va fi utilizat pentru dezvoltarea și fabricarea de micro- și nanostructuri cu aplicabilitate în domenii precum micro- și nanoelectronică, optoelectronică, fotonică, precum și în aplicații de tip senzori. Sistemul trebuie să permită gravura anizotropă, selectivă și reproductibilă a unei game largi de materiale: polimeri (ex: PMMA, SU-8), oxizi metalici (ex: SiO2, Al2O3, HfO2, TiO2, ZnO, CuO), nitruri metalice (ex: AlN, TiN), metale (Cr, Ti) și dicalcogenuri ale metalelor de tranziție (ex: MoS₂).

Descrierea achiziției publice

Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching) - 1 buc.
Sistemul de gravură ICP-RIE va fi utilizat pentru dezvoltarea și fabricarea de micro- și nanostructuri cu aplicabilitate în domenii precum micro- și nanoelectronică, optoelectronică, fotonică, precum și în aplicații de tip senzori. Sistemul trebuie să permită gravura anizotropă, selectivă și reproductibilă a unei game largi de materiale: polimeri (ex: PMMA, SU-8), oxizi metalici (ex: SiO2, Al2O3, HfO2, TiO2, ZnO, CuO), nitruri metalice (ex: AlN, TiN), metale (Cr, Ti) și dicalcogenuri ale metalelor de tranziție (ex: MoS₂).
Sistemul trebuie să ofere următoarele capabilități esențiale:
a) Sistemul trebuie să fie capabil să proceseze probe cu dimensiuni de până la minim 200 mm;
b) Sistemul trebuie să permită procesarea unei game largi de materiale țintă (polimeri, oxizi metalici, nitruri metalice, metale și dicalcogenuri ale metalelor de tranziție), utilizate în mod frecvent în aplicații de micro- și nanofabricare. Pentru a asigura o astfel de versatilitate funcțională, sistemul trebuie să fie proiectat astfel încât să fie pe deplin compatibil cu gazele reactive fluorurate și gazele pe bază de clor. Configurația camerei de proces și a circuitelor de gaze trebuie să permită alternarea între cele două tipuri de chimii în cadrul aceleiași incinte de reacție, fără a compromite puritatea procesului, fără a genera contaminare încrucișată și fără a afecta reproducibilitatea sau eficiența procesului de gravură;
c) Gazele suportate trebuie să includă: Ar, O₂, SF₆, CF₄, CHF₃, Cl₂ și BCl₃ (încălzit).
d) Sistemul de vid și sistemul de alimentare cu gaze trebuie sa asigure comutarea sigură și facilă între cele două tipuri de chimii în cadrul aceleiași incinte de reacție, fără a necesita modificări hardware sau utilizarea unor echipamente dedicate pentru fiecare clasă de reactivi.

Informații suplimentare

Program: Creștere Inteligentă, Digitalizare și Instrumente Financiare 2021-2027
Titlul proiectului: „PLATFORMA NAȚIONALĂ PENTRU TEHNOLOGIILE SEMICONDUCTORILOR (PNTS)”
Cod SMIS: 304244; Contract numarul: G 2024-85828/390008/27.11.2024

Lista și o scurtă descriere a normelor și criteriilor

Operatorii economici ce depun oferta trebuie sa dovedeasca o forma de înregistrare în conditiile legii din tara de rezidenta, sa reiasa ca operatorul economic este legal constituit, ca nu se afla în niciuna dintre situatiile de anulare a constituirii precum si faptul ca are
capacitatea profesionala de a realiza activitatile care fac obiectul contractului.
Modalitatea de indeplinire a cerintei: se va completa DUAE de catre operatorii economici participanti la procedura de atribuire (ofertant/ofertant asociat/ subcontractant) cu informatiile aferente situatiei lor.
Documentele justificative care probeaza indeplinirea celor asumate prin completarea DUAE urmeaza a fi prezentate, la solicitarea autoritatii contractante, doar de catre ofertantul clasat pe locul I in clasamentul intermediar intocmit la finalizarea evaluarii ofertelor.
Aceste documente justificative pot fi:
- certificat constatator emis de ONRC, sau
- in cazul ofertantilor straini, documente echivalente emise in tara de rezidenta.
Documentele constatatoare trebuie sa ateste ca obiectul contractului are corespondenta in activitatea ofertantului/ofertantului asociat/subcontractantului, pentru partea din contract pe care o realizeaza .
Alte informatii minimale ce trebuie sa se regaseasca in documentul constatator sunt:
- date de identificare legale (denumire, sediu, cod unic de inregistrare);
- activitatile principale si secundare;
- reprezentantii legali.
Documentele emise in alta limba decat limba romana vor fi insotite de traduceri autorizate in limba romana.
Documentele solicitate vor fi semnate cu semnătură electronică extinsă, bazată pe un certificat calificat, eliberat de un furnizor de servicii de certificare acreditat în condiţiile legii şi încărcate în SEAP în secţiunile specifice disponibile în sistemul informatic şi numai
de către operatorii economici înregistraţi.

Lista și o scurtă descriere a normelor și criteriilor

Având în vedere prevederile art. 200 din Legea nr.98/2016 privind achiziţiile publice se solicita îndeplinirea următoarei cerințe:
Operatorii economici ce depun oferta vor demonstra implementarea unui sistem de management al calității conform SR EN ISO 9001 sau certificate echivalente, emise de organisme de certificare acreditate stabilite în alte state membre sau alte probe/dovezi care confirmă asigurarea unui nivel corespunzător al calității pentru cazurile în care operatorii nu au avut acces la un certificat de calitate astfel cum au fost solicitate ori nu au avut posibilitatea de a-l obține în termenul stabilit.
Modalitatea de indeplinire a cerintei: se va completa DUAE de catre operatorii economici participanti la procedura de atribuire (ofertant/ofertant asociat/ subcontractant) cu informatiile aferente situatiei lor.
Documentele justificative care probeaza indeplinirea celor asumate prin completarea DUAE urmeaza a fi prezentate, la solicitarea autoritatii contractante, doar de catre ofertantul clasat pe locul I in clasamentul intermediar intocmit la finalizarea evaluarii ofertelor. Ofertantul clasat pe primul loc va prezenta certificat/e emis/e de organisme independente care atestă respectarea standardelor de asigurare a calitații, respectiv SR EN ISO 9001 sau ECHIVALENT.

Principalele condiții de finanțare și modalități de plată și/sau trimitere la dispozițiile relevante care le reglementează

Plata către furnizor se face prin OP, în termen de 30 zile de la primirea facturii.
Acest contract fiind finanțat din fonduri europene prin proiectul „PLATFORMA NAȚIONALĂ PENTRU TEHNOLOGIILE SEMICONDUCTORILOR (PNTS)”, executarea acestuia poate fi suspendată prin notificare pe perioadă determinată de către MINISTERUL INVESTIȚIILOR ȘI PROIECTELOR EUROPENE.
Executarea contractului se va relua după încetarea motivului suspendării.
Plata aferentă contractului se va realiza de către autoritatea contractantă prin mecanismul cererilor de plată, în conformitate cu prevederile contractului de finanțare și ale legislației aplicabile privind implementarea proiectelor cu finanțare din fonduri europene. Furnizorul nu are dreptul să pretindă despăgubiri/penalități/daune interese în cazul suspendării executării contractului. Text integral in sect. VI.3 Informatii suplimentare.

Cerintele tehnice definite la nivelul anuntului de participare, caietului de sarcini sau altor documente complementare, prin trimiterea standardelor, la un anumit producator, la marci, brevete, tipuri, la o origine sau la o productie/metoda specifica de fabricatie/prestare/executie, vor fi intelese ca fiind insotite de mentiunea ”sau echivalent”.
Numar zile pana la care se pot solicita clarificari inainte de data limita de depunere a ofertelor: 18 zile inainte de data limita pentru depunerea ofertelor.
Termenul limita pana la care autoritatea contractanta va raspunde clar si complet solicitarilor de clarificari/informatii suplimentare: 10 zile inainte de termenul limita de depunere a ofertelor stabilit prin anuntul de participare.
In situatia in care ofertantul declarat castigator va fi de alta nationalitate decat cea romana, modelul de contract de furnizare utilizat in prezenta procedura va fi tradus de autoritatea contractanta prin intermediul unui traducator autorizat, la solicitarea ofertantului, urmand a se incheia un contract cu continut bilingv romana-engleza.
Perioada minima pe parcursul careia ofertantul trebuie sa isi mentina oferta este de 6 luni (180 zile) de la termenul limita de primire a ofertelor.

Pentru fiecare ofertă se va calcula punctajul total al ofertei (PO) prin însumarea tuturor punctajelor individuale după formula:
PO=PP+PG+PT1+PT2+PT3+PT4+PT5+PT6+PT7
Punctajul maxim pe care îl poate obține o ofertă va fi de 100 (o sută) puncte.
Dacă două sau mai multe oferte primesc același punctaj PO, atunci va fi declarată câștigătoare oferta cu cele mai mari punctaje obținute pentru PT1, PT2, PT3 și PT4.
Dacă două sau mai multe oferte obțin atât un punctaj total PO, cât și punctaje PT1, PT2, PT3 și PT4 egale, atunci o nouă ofertă de preț va fi solicitată de la ofertanții respectivi și va fi declarată câștigătoare oferta cu cel mai mic preț reofertat.

Garantie de participare (continuare de la sectiunea III.1.6.a)):
[...]
In cazul depunerii de oferte in asociere, GP trebuie constituita in numele asocierii si sa mentioneze ca acopera in mod solidar toti membrii grupului de operatori ec.
GP trebuie sa fie irevocabila si neconditionata.
3) Mod de prezentare: Instrumentul de garantare sau ordinul de virament se transmite în SEAP împreună cu oferta şi celelalte documente ale acesteia, cel mai târziu la data şi ora-limită de depunere a ofertelor, şi trebuie să prevadă că plata garanţiei de participare se va executa necondiţionat, respectiv la prima cerere a beneficiarului, pe baza declaraţiei acestuia cu privire la culpa persoanei garantate.
Garantia de participare emisa in alta limba decat limba romana va fi insotita de traducerea autorizata in limba romana.
4) Perioada de valabilitate a garantiei de participare: 6 luni (180 zile) de la data limita pentru depunerea ofertelor (Perioada de valabilitate a garantiei de participare este cel putin egala cu perioada de valabilitate a ofertei).
5) Restituirea garantiei de participare: in conformitate cu art. si art. 154^1 din Legea 98/2016 cu modificarile si completarile ulterioare.
6) Retinerea garantiei de participare: in conformitate cu art. 37, alin. a), b), c), din H.G. nr. 395/2016 cu modificarile si completarile ulterioare:
„(1) Autoritatea contractantă are obligaţia de a reţine garanţia de participare atunci când ofertantul se află în oricare dintre următoarele situaţii:
a) îşi retrage oferta în perioada de valabilitate a acesteia;
b) oferta sa fiind stabilită câştigătoare, nu constituie garanţia de bună execuţie;
b1)[...];
c) oferta sa fiind stabilită câştigătoare, refuză să semneze contractul de achiziţie publică/acordul-cadru în perioada de valabilitate a ofertei.”

Garantie de buna executie (continuare de la sectiunea III.1.6.b)):
[...]
În cazul depunerii de oferte în asociere, GBE trebuie constituita în numele asocierii si sa mentioneze ca acopera în mod solidar toti membrii grupului de operatori ec.
GBE trebuie sa fie irevocabila si neconditionata.
3) Mod de prezentare: in conformitate cu prevederile art. 154 din Legea 98/2016 cu modificarile si completarile ulterioare.
4) Restituirea garantiei de buna executie: in conformitate cu prevederile art. 154^2 din Legea 98/2016 cu modificarile si completarile ulterioare.
5) Retinerea garantiei de buna executie: in conformitate cu prevederile art.41 din H.G. nr. 395/2016 cu modificarile si completarile ulterioare.

Principalele condiții de finanțare și modalități de plată și/sau trimitere la dispozițiile relevante care le reglementează (Text integral sectiunea III.1.7):
Achizitorul efectueaza plata către furnizor , prin OP, în termen de 30 zile calendaristice de la primirea facturii emisa in baza PV de receptie si PV de instalare, punere in functiune si instruire personal încheiate fără obiecțiuni.
Acest contract este finanțat din fonduri europene prin proiectul „PLATFORMA NAȚIONALĂ PENTRU TEHNOLOGIILE SEMICONDUCTORILOR (PNTS)”, executarea contractului poate fi suspendată prin notificare pe perioadă determinată de către MINISTERUL INVESTIȚIILOR ȘI PROIECTELOR EUROPENE.
Suspendarea va fi comunicată de către beneficiar, prin notificare scrisă, în termen de 24 de ore de la primirea înștiințării de la MINISTERUL INVESTIȚIILOR ȘI PROIECTELOR EUROPENE. Executarea contractului se va relua după încetarea motivului suspendării.
Reluarea executării contractului va fi comunicată de către beneficiar, prin notificare scrisă, în termen de 24 de ore de la primirea înștiințării.
Plata aferentă contractului se va realiza de către autoritatea contractantă prin mecanismul cererilor de plată, în conformitate cu prevederile contractului de finanțare și ale legislației aplicabile privind implementarea proiectelor cu finanțare din fonduri europene.
Furnizorul nu are dreptul să pretindă despăgubiri/penalități/daune interese în cazul suspendării executării contractului în situațiile mai sus menționate.

Situatia personala a candidatului sau ofertantului:

1.Ofertanţii, terţii sustinatori si subcontractantii nu trebuie sa se regaseasca în situatiile prevazute la art.58-60 din Legea nr.98/2016.
Modalitatea prin care poate fi demonstrata îndeplinirea cerintei: se va completa DUAE de catre operatorii economici participanti la procedura de atribuire cu informatiile aferente situatiei lor.

2.Ofertantii, tertii sustinatori si subcontractantii nu trebuie sa se regaseasca in situatiile prevazute art 164, 165 si 167 din Legea 98/2016 privind achizitiile publice.
Modalitatea prin care poate fi demonstrata indeplinirea cerintei: se va completa DUAE de catre operatorii economici participanti la procedura de atribuire cu informatiile aferente situatiei lor. Se vor depune, odata cu DUAE, urmatoarele documente: angajamentul ferm al terțului susținător din care rezultă modul efectiv în care se va materializa susținerea acestuia, acordul de subcontractare și/sau a acordul de asociere, după caz.
Documentele justificative care probeaza indeplinirea celor asumate prin completarea DUAE urmeaza a fi prezentate, la solicitarea autoritatii contractante, doar de catre operatorul clasat pe locul I in clasamentul intermediar intocmit la finalizarea evaluarii ofertelor.
Aceste documente pot fi:
1.certificate constatatoare privind lipsa datoriilor restante cu privire la plata impozitelor, taxelor sau a contributiilor la bugetul general consolidat(buget local, buget de stat,etc)la momentul prezentarii;
2.certificat de atestare fiscala;
3.certificat de atestare fiscala pentru persoane juridice privind impozitele si taxele locale si alte venituri datorate bugetului local;
4.certificat de cazier fiscal;
5.cazierul judiciar al operatorului economic si al membrilor organului de administrare, de conducere sau de supraveghere al respectivului operator economic, sau a celor ce au putere de reprezentare, de decizie sau de control in cadrul acestuia, asa cum rezulta din certificatul constatator emis de ONRC/actul constitutiv;
6.dupa caz, documente prin care se demonstreaza faptul ca operatorul economic poate beneficia de derogari la art.166 alin.(2),art.167 alin.(2), art.171 din Lg 98/2016 privind achizitiile publice cu modificarile si completarile ulterioare.
7. declaratie ofertant privind evitarea conflictului de interese;
8. alte documente edificatoare, dupa caz.
Persoanele cu funcție de decizie din cadrul autorității contractante în ceea ce privește organizarea, derularea și finalizarea procedurii de atribuire sunt următoarele: Dr. Ionuț-Marius ENCULESCU, Dr. Lucian PINTILIE, Ec. Gabriela IVĂNUŞ, Dr. Andreea COSTAS, Dr. Cristina BEȘLEAGĂ STAN, Dr. Oana RASOGA, Dr. Carmen BREAZU, Dr. Ionel STAVARACHE, Dr. Alin VELEA, Florica FRUMOSU, Raluca NIȚU și Decebal-Adrian GHEORGHE.
Se va completa DUAE conform art 193 alin. 1 din Legea 98/2016.
In cazul in care in tara de origine sau in tara in care este stabilit operatorul economic, nu se emit documente de tipul celor solicitate sau acestea nu vizeaza toate situatiile cuprinse la art. 164, art. 165 si art. 167, se accepta orice document considerat edificator emis de autoritati competente din tara respectiva;
In cazul ofertantilor persoane juridice/fizice straine documentele vor fi transmise in limba in care au fost emise, insotite de o traducere autorizata a acestora in limba romana.
Documentele solicitate vor fi semnate cu semnătură electronică extinsă, bazată pe un certificat calificat, eliberat de un furnizor de servicii de certificare acreditat în condiţiile legii şi încărcate în SEAP în secţiunile specifice disponibile în sistemul informatic.
Documentele emise in alta limba decat limba romana vor fi insotite de traduceri autorizate in limba romana.
Nota 1:Oferta depusa de un ofertant care nu îndeplineşte unul sau mai multe dintre criteriile de calificare stabilite în documentaţia de atribuire sau nu a completat DUAE în conformitate cu cerinţele stabilite de autoritatea contractantă, va fi respinsa ca inacceptabila si neconforma.